Micro Electro Mechanical Systems
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| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | text |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
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| Schriftenreihe: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Format: | Elektronisch Buch |
Inhaltsangabe:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.