Micro Electro Mechanical Systems
| مؤلف مشترك: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| الملخص: | text |
| اللغة: | الإنجليزية |
| منشور في: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
|
| سلاسل: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| التنسيق: | الكتروني كتاب الكتروني |
جدول المحتويات:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.