|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
97799 |
| 005 |
20231101214142.0 |
| 010 |
|
|
|a 5948360636
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\104835
|
| 090 |
|
|
|a 97799
|
| 100 |
|
|
|a 20060605d2005 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам
|e сборник статей
|f под ред. П. П. Мальцева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Техносфера
|d 2005
|
| 215 |
|
|
|a 592 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Мир электроники
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929
|9 76611
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a микросистемная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a Россия
|
| 610 |
1 |
|
|a наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a метрологическое обеспечение
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a конструирование
|
| 610 |
1 |
|
|a компоненты
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a сборники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Мальцев
|b П. П.
|c д. т. н., профессор
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060605
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130603
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Нанотехнологии в электронике
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 43/20060605
|d 1
|e 615,00
|f ЧЗТЛ:1
|