MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 97799
005 20231101214142.0
010 |a 5948360636 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\104835 
090 |a 97799 
100 |a 20060605d2005 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам  |e сборник статей  |f под ред. П. П. Мальцева 
210 |a Москва  |c Техносфера  |d 2005 
215 |a 592 с.  |c ил. 
225 1 |a Мир электроники 
320 |a Библиография в конце статей 
606 1 |a Наноэлектроника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929  |9 76611 
610 1 |a нанотехнологии 
610 1 |a микросистемная техника 
610 1 |a Россия 
610 1 |a наноструктуры 
610 1 |a формирование 
610 1 |a исследование 
610 1 |a метрологическое обеспечение 
610 1 |a технология 
610 1 |a моделирование 
610 1 |a конструирование 
610 1 |a компоненты 
610 1 |a применение 
610 1 |a сборники 
675 |a 621.382:53  |v 3 
702 1 |a Мальцев  |b П. П.  |c д. т. н., профессор  |4 340 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20060605  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20130603  |g PSBO 
900 |a Нанотехнологии в электронике 
942 |c BK 
959 |a 43/20060605  |d 1  |e 615,00  |f ЧЗТЛ:1