Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.20

Бібліографічні деталі
Автор:	Рябчиков И. А. Игорь Александрович
Співавтор:	Томский политехнический университет
Інші автори:	Усов Ю. П. Юрий Петрович (научный руководитель)
Резюме:	Защита сост. 24.04.2006 г.
Мова:	Російська
Опубліковано:	Томск, [Б. и.], 2006
Предмети:	физика плазма ионные потоки ионная имплантация оборудование методы проводящие мишени диэлектрические мишени короткие потенциалы смещения биполярные импульсы смещения авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Формат:	MixedMaterials Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=97006

Схожі ресурси