|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
97005 |
| 005 |
20231031110744.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\103953
|
| 090 |
|
|
|a 97005
|
| 100 |
|
|
|a 20060522j20060424k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.20
|f И. А. Рябчиков
|g Томский политехнический университет; науч. рук. Ю. П. Усов
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 149 л.
|c ил.
|
| 229 |
|
|
|a Защищена 24.04.2006 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 136-149 (135 назв.).
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные потоки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a проводящие мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a короткие потенциалы смещения
|
| 610 |
1 |
|
|a биполярные импульсы смещения
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:539(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.20
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b И. А.
|g Игорь Александрович
|
| 702 |
|
1 |
|a Усов
|b Ю. П.
|c российский ученый, электротехник
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1937-
|g Юрий Петрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19875
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060522
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130514
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
