Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.20

Bibliographic Details
Main Author:	Рябчиков И. А. Игорь Александрович
Corporate Author:	Томский политехнический университет
Other Authors:	Усов Ю. П. Юрий Петрович (научный руководитель)
Language:	Russian
Published:	Томск, [Б. и.], 2006
Subjects:	физика плазма ионные потоки ионная имплантация оборудование методы проводящие мишени диэлектрические мишени короткие потенциалы смещения биполярные импульсы смещения диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=97005

Description
Physical Description:	149 л. ил.

Similar Items