|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
95896 |
| 005 |
20231031110319.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\102660
|
| 090 |
|
|
|a 95896
|
| 100 |
|
|
|a 20060504d1968 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Катодное распыление
|f Н. В. Плешивцев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Атомиздат
|d 1968
|
| 215 |
|
|
|a 343 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 335-339.
|
| 610 |
1 |
|
|a катодное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a теоретические исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a обзоры
|
| 610 |
1 |
|
|a практическое использование
|
| 610 |
1 |
|
|a последствия
|
| 610 |
1 |
|
|a устранение
|
| 675 |
|
|
|a 537.5
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Плешивцев
|b Н. В.
|g Николай Васильевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060504
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121005
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
