Газофазная микрометаллургия полупроводников

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Jezik:	ruščina
Izdano:	Москва, Металлургия, 1974
Teme:	полупроводники газофазная микрометаллургия полупроводниковые пленки эпитаксиальные слои газовые фазы кристаллы кристаллизация
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=95242

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	95242
005	20231031110047.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\101997
090			\|a 95242
100			\|a 20060421d1974 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Газофазная микрометаллургия полупроводников \|f В. Ф. Дорфман
210			\|a Москва \|c Металлургия \|d 1974
215			\|a 192 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 179-189
610	1		\|a полупроводники
610	1		\|a газофазная микрометаллургия
610	1		\|a полупроводниковые пленки
610	1		\|a эпитаксиальные слои
610	1		\|a газовые фазы
610	1		\|a кристаллы
610	1		\|a кристаллизация
675			\|a 621.315.592 \|v 3
700		1	\|a Дорфман \|b В. Ф. \|g Вениамин Фриделевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20060421 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20180302 \|g PSBO
942			\|c BK