Газофазная микрометаллургия полупроводников
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Москва, Металлургия, 1974
|
| Témata: | |
| Médium: | Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=95242 |
| Fyzický popis: | 192 с. ил. |
|---|