Оборудование полупроводникового производства

Dades bibliogràfiques
Altres autors:	Масленников П. Н. (редактор), Лаврентьев К. А., Гингис А. Д., Кононов В. И., Кириченко И. В., Назаров В. А., Руднев В. В., Степанов В. В., Холин Г. И., Щербаков В. С., Масленников П. Н. Павел Николаевич
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Радио и связь, 1981
Matèries:	полупроводниковые приборы производство оборудование испытательное оборудование технологическое оборудование комплексная автоматизация комплексная механизация
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=94844

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	94844
005	20231031105821.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\101595
090			\|a 94844
100			\|a 20060417d1981 km y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Оборудование полупроводникового производства \|f П. Н. Масленников [и др.] \|g под ред. П. Н. Масленникова
210			\|a Москва \|c Радио и связь \|d 1981
215			\|a 335 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 330-333 (90 назв.)
610	1		\|a полупроводниковые приборы
610	1		\|a производство
610	1		\|a оборудование
610	1		\|a испытательное оборудование
610	1		\|a технологическое оборудование
610	1		\|a комплексная автоматизация
610	1		\|a комплексная механизация
675			\|a 621.382.002 \|v 3
701		1	\|a Масленников \|b П. Н.
701		1	\|a Лаврентьев \|b К. А.
701		1	\|a Гингис \|b А. Д.
701		1	\|a Кононов \|b В. И.
701		1	\|a Кириченко \|b И. В.
701		1	\|a Назаров \|b В. А.
701		1	\|a Руднев \|b В. В.
701		1	\|a Степанов \|b В. В.
701		1	\|a Холин \|b Г. И.
701		1	\|a Щербаков \|b В. С.
702		1	\|a Масленников \|b П. Н. \|g Павел Николаевич \|4 340
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20060417 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150814 \|g PSBO
942			\|c BK