|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
9397 |
| 005 |
20231030182404.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\9449
|
| 035 |
|
|
|a BOOK00009511
|
| 090 |
|
|
|a 9397
|
| 100 |
|
|
|a 20011209d1998 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y dm 000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|f А. Н. Закутаев
|g Томский политехнический университет
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 1998
|
| 215 |
|
|
|a 20 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a абляции
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a углеродные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Закутаев
|b А. Н.
|g Александр Николаевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040428
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|