Основы технологии электронной компонентной базы : практикум

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Астахов В. П.
Další autoři: Леготин С. А., Кузьмина К. А.
Shrnutí:Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Vydáno: Москва, МИСИС, 2016
Témata:
On-line přístup:https://e.lanbook.com/book/93644
https://e.lanbook.com/img/cover/book/93644.jpg
Médium: Elektronický zdroj Kniha

Podobné jednotky