Основы технологии электронной компонентной базы : практикум
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/93644 https://e.lanbook.com/img/cover/book/93644.jpg |
| Format: | Electronic Book |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 93644 | ||
| 010 | |a 978-5-87623-964-8 | ||
| 100 | |a 20250210d2016 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Основы технологии электронной компонентной базы : практикум |b Электронный ресурс |f Астахов В. П.,Леготин С. А.,Кузьмина К. А. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МИСИС |d 2016 | ||
| 215 | |a 53 с. | ||
| 330 | |a Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 0 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 0 | |a термическое окисление | |
| 610 | 0 | |a технологические процессы | |
| 700 | 1 | |a Астахов |b В. П. | |
| 701 | 1 | |a Леготин |b С. А. | |
| 701 | 1 | |a Кузьмина |b К. А. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250210 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/93644 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/93644.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/93644.jpg | ||