Химия и технология тонких неорганических пленок: конспект лекций

Библиографические подробности
Главный автор:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович
Автор-организация:	Ленинградский технологический институт им. Ленсовета
Другие авторы:	Николаева Л. В. Лариса Васильевна
Язык:	русский
Опубликовано:	Ленинград, 1973
Предметы:	химия технология тонкие пленки неорганические пленки методы получения микросхемы диффузия лекции
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93603

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	93603
005	20231031105251.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\100215
090			\|a 93603
100			\|a 20060330d1973 m y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a j 000zy
200	1		\|a Химия и технология тонких неорганических пленок \|e конспект лекций \|f А. И. Борисенко, Л. В. Николаева \|g Ленинградский технологический институт им. Ленсовета
210			\|a Ленинград \|d 1973
215			\|a 84 с. \|c ил.
610	1		\|a химия
610	1		\|a технология
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a неорганические пленки
610	1		\|a методы получения
610	1		\|a микросхемы
610	1		\|a диффузия
610	1		\|a лекции
675			\|a 539.216 \|v 4
700		1	\|a Борисенко \|b А. И. \|g Анатолий Исидорович
701		1	\|a Николаева \|b Л. В. \|g Лариса Васильевна
712	0	2	\|a Ленинградский технологический институт им. Ленсовета \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1462
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20060330 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20181019 \|g PSBO
942			\|c BK