MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 93162
005 20231031105051.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\99770 
090 |a 93162 
100 |a 20060327d1985 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Кинетика кристаллизации и перекристализации полупроводниковых плёнок  |f Л. Н. Александров  |g Сибирское отделение АН СССР; Институт физики полупроводников; под ред. Л. С. Смирнова 
210 |a Новосибирск  |c Наука  |d 1985 
215 |a 223 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 203-223. 
610 1 |a физика 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a полупроводниковые пленки 
610 1 |a получение 
610 1 |a кристаллы 
610 1 |a рост 
610 1 |a кристаллизация 
610 1 |a кинетика 
610 1 |a перекристаллизация 
675 |a 539.216.2  |v 3 
700 1 |a Александров  |b Л. Н.  |g Леонид Наумович 
702 1 |a Смирнов  |b Л. С.  |4 340 
712 0 2 |a Академия наук СССР  |b Сибирское отделение  |b Институт физики полупроводников (АН СССР СО ИФП)  |c (Новосибирск)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20060327  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20071012  |g PSBO 
942 |c BK