Физика высокочастотного емкостного разряда
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Περίληψη: | Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ-поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты во ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов, как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР. Монография рассчитана на научных работников, занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной плазмы, аспирантов и студентов соответствующих специальностей. Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Физика |
| Έκδοση: |
Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | https://e.lanbook.com/book/91175 https://e.lanbook.com/img/cover/book/91175.jpg |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Βιβλίο |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 91175 | ||
| 010 | |a 978-5-9221-1551-3 | ||
| 100 | |a 20200604d2013 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Физика высокочастотного емкостного разряда |b Электронный ресурс |f Савинов В. П. | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c ФИЗМАТЛИТ |d 2013 | ||
| 215 | |a 308 с. | ||
| 330 | |a Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ-поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты во ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов, как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР. Монография рассчитана на научных работников, занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной плазмы, аспирантов и студентов соответствующих специальностей. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции ФИЗМАТЛИТ - Физика | ||
| 610 | 0 | |a высокочастотный емкостный разряд | |
| 610 | 0 | |a высокочастотный разряд | |
| 610 | 0 | |a высокочастотный разряд - исследование | |
| 610 | 0 | |a газоразрядная плазма | |
| 610 | 0 | |a заряженные частицы в плазме | |
| 610 | 0 | |a плазма | |
| 610 | 0 | |a плазма газоразрядная | |
| 610 | 0 | |a плазма разрядная | |
| 610 | 0 | |a плазма разрядная (физика) | |
| 610 | 0 | |a приэлектродные слои | |
| 610 | 0 | |a приэлектродные электронные пучки | |
| 610 | 0 | |a приэлектронные слои | |
| 610 | 0 | |a пространственный заряд | |
| 610 | 0 | |a разряды высокочастотные емкостные | |
| 610 | 0 | |a разряды высокочастотные емкостные (плазма) | |
| 610 | 0 | |a физика плазмы | |
| 610 | 0 | |a электрический пробой | |
| 610 | 0 | |a электрический пробой газа | |
| 610 | 0 | |a электрическое поле | |
| 610 | 0 | |a электричество (физика) | |
| 610 | 0 | |a электронные пучки | |
| 675 | |a 537.075.8 | ||
| 686 | |a 22.23 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Савинов |b В. П. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/91175 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/91175.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/91175.jpg | ||