Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
| Автор: | Черняев В. Н. Владимир Николаевич |
|---|---|
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Москва, Высшая школа, 1987
|
| Предмети: | |
| Формат: | Книга |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=88039 |
Схожі ресурси
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
за авторством: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1983)
за авторством: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1983)
Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Опубліковано: (2011)
Опубліковано: (2011)
Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Ходыревская Ю. И.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Ходыревская Ю. И.
Опубліковано: (2012)
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
за авторством: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)
за авторством: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)
Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Опубліковано: (Новосибирск, Наука, 1988)
Опубліковано: (Новосибирск, Наука, 1988)
Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
за авторством: Владимирова Л. Н.
Опубліковано: (Воронеж, ВГУ, 2014)
за авторством: Владимирова Л. Н.
Опубліковано: (Воронеж, ВГУ, 2014)
Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
за авторством: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Опубліковано: (Минск, Наука и техника, 1983)
за авторством: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Опубліковано: (Минск, Наука и техника, 1983)
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Опубліковано: (Москва, Юрайт, 2016)
Опубліковано: (Москва, Юрайт, 2016)
Химические процессы в технологии изготовления печатных плат
за авторством: Федулова А. А. Антонина Арсентьевна
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1981)
за авторством: Федулова А. А. Антонина Арсентьевна
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1981)
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
за авторством: Родионов Ю. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)
за авторством: Родионов Ю. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)
Печатные платы: конструкции и материалы
за авторством: Медведев А. М.
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2005)
за авторством: Медведев А. М.
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2005)
Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
за авторством: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)
за авторством: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)
Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
за авторством: Королев М. А. Михаил Александрович
Опубліковано: (2009)
за авторством: Королев М. А. Михаил Александрович
Опубліковано: (2009)
Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
за авторством: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)
за авторством: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)
Распыление под действием бомбардировки частицами; Вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике
Опубліковано: (Москва, Мир, 1998)
Опубліковано: (Москва, Мир, 1998)
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
за авторством: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2018)
за авторством: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2018)
Формирование функциональных слоев учебное пособие
за авторством: Панфилов Ю. В.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)
за авторством: Панфилов Ю. В.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)
New phase synthesis in surface layer in the conditions of ion implantation; AIP Conference Proceedings; Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014
за авторством: Khan A. Asfandyar
Опубліковано: (2014)
за авторством: Khan A. Asfandyar
Опубліковано: (2014)
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
за авторством: Боброва Ю. С.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)
за авторством: Боброва Ю. С.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)
Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2011)
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2011)
Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Опубліковано: (1990)
Опубліковано: (1990)
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
за авторством: Юрчук С. Ю.
Опубліковано: (Москва, МИСИС, 2013)
за авторством: Юрчук С. Ю.
Опубліковано: (Москва, МИСИС, 2013)
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
за авторством: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Опубліковано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)
за авторством: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Опубліковано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)
Автоматизация в проектировании и производстве печатных плат радиоэлектронной аппаратуры
за авторством: Бахтин Б. И. Борис Иванович
Опубліковано: (Ленинград, Энергия, 1979)
за авторством: Бахтин Б. И. Борис Иванович
Опубліковано: (Ленинград, Энергия, 1979)
Фото-, электроно- и рентгенорезисты
за авторством: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1982)
за авторством: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1982)
Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов учебное пособие
за авторством: Одиноков С. Б.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)
за авторством: Одиноков С. Б.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
за авторством: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
за авторством: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)
Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
за авторством: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Опубліковано: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)
за авторством: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Опубліковано: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
за авторством: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2010)
за авторством: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубліковано: (Москва, Техносфера, 2010)
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Опубліковано: (Москва, Учеба, 2007)
Опубліковано: (Москва, Учеба, 2007)
Ионная имплантация
за авторством: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Опубліковано: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)
за авторством: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Опубліковано: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)
Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
за авторством: Гридчин А. В. Александр Викторович
Опубліковано: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)
за авторством: Гридчин А. В. Александр Викторович
Опубліковано: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)
Кн. 2; Печатные платы
Опубліковано: (2011)
Опубліковано: (2011)
Проблемы микроэлектронной технологии
Опубліковано: (Москва, Наука, 1992)
Опубліковано: (Москва, Наука, 1992)
Химическая технология в производстве радиоэлектронных деталей
за авторством: Флеров В. Н. Валерий Николаевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1988)
за авторством: Флеров В. Н. Валерий Николаевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1988)
Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
за авторством: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Опубліковано: (2016)
за авторством: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Опубліковано: (2016)
Технология изготовления печатных плат для систем управления в электротехнике: [сборник научных трудов]
Опубліковано: (Москва, Изд-во ВНИИЭМ, 1979)
Опубліковано: (Москва, Изд-во ВНИИЭМ, 1979)
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)
Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)
Схожі ресурси
-
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
за авторством: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1983) -
Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Опубліковано: (2011) -
Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Ходыревская Ю. И.
Опубліковано: (2012) -
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
за авторством: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубліковано: (Москва, Энергоатомиздат, 1987) -
Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Опубліковано: (Новосибирск, Наука, 1988)