Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов

Библиографические подробности
Главный автор:	Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Язык:	русский
Опубликовано:	Москва, Высшая школа, 1987
Предметы:	радиоэлектроника радиоэлектронная аппаратура технологии физико-химические процессы поверхностные процессы травление диффузионные процессы пленки осаждение ионно-плазменное травление ионная имплантация литография печатные платы сварные соединения пайка учебники
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=88039

Схожие документы

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
по: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1983)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Опубликовано: (2011)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Ходыревская Ю. И.
Опубликовано: (2012)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1988)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Опубликовано: (Москва, Юрайт, 2016)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
по: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1983)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
по: Владимирова Л. Н.
Опубликовано: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Химические процессы в технологии изготовления печатных плат
по: Федулова А. А. Антонина Арсентьевна
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1981)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
по: Родионов Ю. А.
Опубликовано: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Печатные платы: конструкции и материалы
по: Медведев А. М.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2005)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
по: Королев М. А. Михаил Александрович
Опубликовано: (2009)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
по: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Инженерия поверхности деталей
по: Суслов А. Г.
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 2008)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
по: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Распыление под действием бомбардировки частицами; Вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике
Опубликовано: (Москва, Мир, 1998)

Формирование функциональных слоев учебное пособие
по: Панфилов Ю. В.
Опубликовано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
по: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2018)

Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2011)

New phase synthesis in surface layer in the conditions of ion implantation; AIP Conference Proceedings; Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014
по: Khan A. Asfandyar
Опубликовано: (2014)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
по: Боброва Ю. С.
Опубликовано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Опубликовано: (1990)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
по: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов учебное пособие
по: Одиноков С. Б.
Опубликовано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
по: Юрчук С. Ю.
Опубликовано: (Москва, МИСИС, 2013)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
по: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Опубликовано: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
по: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1982)

Базовые технологические процессы микросистемной техники
по: Потловский К. Г.
Опубликовано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Автоматизация в проектировании и производстве печатных плат радиоэлектронной аппаратуры
по: Бахтин Б. И. Борис Иванович
Опубликовано: (Ленинград, Энергия, 1979)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
по: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2010)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Опубликовано: (Москва, Учеба, 2007)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
по: Гридчин А. В. Александр Викторович
Опубликовано: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Ионная имплантация
по: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Опубликовано: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Кн. 2; Печатные платы
Опубликовано: (2011)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Технология изготовления печатных плат для систем управления в электротехнике: [сборник научных трудов]
Опубликовано: (Москва, Изд-во ВНИИЭМ, 1979)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
по: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Опубликовано: (2016)