MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 88039
005 20231031102504.0
020 |a RU  |b 87-14095 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\94518 
035 |a RU\TPU\book\89707 
090 |a 88039 
100 |a 20051220d1987 m a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 000zy 
200 1 |a Физико-химические процессы в технологии РЭА  |e учебник для вузов  |f В. Н. Черняев 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1987 
215 |a 375 с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр.: с. 365-366 (45 назв.) 
320 |a Предм. указ.: с. 367-371 
610 1 |a радиоэлектроника 
610 1 |a радиоэлектронная аппаратура 
610 1 |a технологии 
610 1 |a физико-химические процессы 
610 1 |a поверхностные процессы 
610 1 |a травление 
610 1 |a диффузионные процессы 
610 1 |a пленки 
610 1 |a осаждение 
610 1 |a ионно-плазменное травление 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a литография 
610 1 |a печатные платы 
610 1 |a сварные соединения 
610 1 |a пайка 
610 1 |a учебники 
675 |a 621.396.6(075.8)  |z rus 
700 1 |a Черняев  |b В. Н.  |g Владимир Николаевич 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20051017  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20211213  |g PSBO 
942 |c BK