|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
83767 |
| 005 |
20231031100329.0 |
| 010 |
|
|
|a 5229007400
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 92-16528
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\90065
|
| 090 |
|
|
|a 83767
|
| 100 |
|
|
|a 20051021d1992 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология полупроводникового кремния
|f Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др.
|g под ред. Э. С. Фалькевича
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 406,[1] с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 300 |
|
|
|a Авт. указаны на обороте тит. л.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.)
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:546
|z rus
|
| 675 |
|
|
|a 669.782
|z rus
|
| 702 |
|
1 |
|a Фалькевич
|b Э. С.
|g Эдуард Семенович
|4 070
|
| 702 |
|
1 |
|a Пульнер
|b Э. О.
|4 070
|
| 702 |
|
1 |
|a Червоный
|b И. Ф.
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20051021
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190621
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
