Ч. 1; Физика микросистем

Ч. 1; Физика микросистем

Bibliographic Details
Parent link:	Физика микросистем: учебное пособие. Ч. 1.— , 2004-2006
Main Author:	Гридчин В. А. Виктор Алексеевич
Other Authors:	Драгунов В. П. Валерий Павлович
Summary:	Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия. В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их практического применения. Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей. Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и научным работникам.
Language:	Russian
Published:	2004
Subjects:	Микросистемы > Физика электроника кремниевые микросистемы создание микромеханические системы напряжения деформация плоские упругие элементы монокристаллический кремний тензорезистивный эффект сенсоры проектирование компоненты техническая реализация учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=82628

Similar Items

Техническая механика микросистем: учебное пособие
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Микродатчики и микросистемы. Краткий курс лекций учебное пособие
by: Гридчин А. В.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Ч. 2: Термические сенсоры, сенсоры оптического и инфракрасного излучения; Физика микросистем
Published: (2006)

Введение в нанотехнику
by: Головин Ю. И. Юрий Иванович
Published: (Москва, Машиностроение, 2007)

Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа; Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность; Т. 2
by: Вторушин С. Е.
Published: (2014)

Связь параметров и структурного совершенства кремниевых pin-фотоприемников; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 12
by: Кулинич О. А.
Published: (2004)

Integrated microelectromechanical gyroscope under shock loads; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 289 : Modern Technologies for Non-Destructive Testing
by: Nesterenko T. G. Tamara Georgievna
Published: (2018)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
by: Гридчин А. В. Александр Викторович
Published: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Microelectronics and Microsystems. Emergent Design Techniques
Published: (London, Springer, 2002)

Microsystems for Bioelectronics: The Nanomorphic Cell
by: Zhirnov V. V. Victor
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2011)

О системах галактики
by: Сизов М. Б Михаил Борисович
Published: (Москва, Прометей, 1992)

Парадоксы, геолого-физическая сущность и механизмы метасоматоза
by: Поспелов Г. Л. Геннадий Львович
Published: (Новосибирск, Наука, 1973)

Advanced Microsystems for Automotive Applications 2001
Published: (Berlin, Springer, 2001)

Кн. 2; Космическая электроника
Published: (2015)

Отладка микропроцессорных систем: пер. с англ.
by: Уильямс Г. Б.
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1988)

Анализ мировых систем и ситуация в современном мире: пер. с англ.
by: Валлерстайн И. Иммануэль
Published: (СПб., Университетская книга, 2001)

Воздействие радиации на интегральные микросхемы
by: Коршунов Ф. П. Федор Павлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1986)

Инженерная сейсморазведка
by: Романов В. В. Виктор Валерьевич
Published: (Москва, ЕАГЕ Геомодель, 2015)

Кн. 2; Технология СБИС
Published: (1986)

Smart sensors and MEMS: Intelligent devices and microsystems for industrial applications
Published: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Исследование квазиравновесной индуцированной фотопроводимости в слабо компенсированном примесном кремнии; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Неразрушающий контроль и диагностика
by: Зыков В. М. Владимир Михайлович
Published: (2008)

Методические рекомендации по обеспечению параметров воздушной среды при производстве изделий микроэлектроники
Published: (Ленинград, Изд-во ВНИИОТ, 1987)

Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов: монография
by: Лугин А. Н. Александр Николаевич
Published: (Пенза, Изд-во ПГУ, 2008)

Кн. 2; Космическая электроника
Published: (2021)

Об одной модели малогабаритного линейного акселерометра; Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика; № 6
by: Увакин В. Ф.
Published: (2003)

Effect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Published: (2015)

ВЧ МЭМС и их применение: пер. с англ.
by: Варадан В.
Published: (Москва, Техносфера, 2004)

Динамические характеристики ёмкостной микроэлектромеханической системы; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (2009)

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Published: (2017)

Основы микросхемотехники: [учебное пособие]
by: Алексенко А. Г. Андрей Геннадьевич
Published: (Москва, ЮНИМЕДИАСТАЙЛ, 2002)

Использование монокристаллического кремния для детектирования нейтронного излучения ядерного реактора; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Published: (2015)

Радиационно-технологический комплекс реактора ИРТ-Т для модификации свойств монокристаллического кремния и полудрагоценных кристаллов; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
Published: (2015)

Территориальные социально-экономические системы Урала: межведомственный сборник научных трудов
Published: (Пермь, Изд-во ПГУ, 1982)

Политико-правовые институты как драйверы эволюционного развития современного социума; Векторы благополучия: экономика и социум; № 3 (38)
by: Равочкин Н. Н. Никита Николаевич
Published: (2020)

Анализ проблем обеспечения устойчивости в микрогрид; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
by: Шлапак М. Р.
Published: (2023)

Моделирование динамики сенсора микромеханического гироскопа LL-типа; Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность; Т. 2
by: Бурганова С. Я.
Published: (2013)

Использование монокристаллического кремния для контроля ядерно-физических характеристик нейтронных полей; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Published: (2015)

The ability to create NTD silicon technology in the IRT-T reactor in a horizontal experimental channel with one-side access; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Published: (2016)

Микромеханический сенсор слухового импланта; Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность; Т. 2
by: Зорина Е. В.
Published: (2015)

Интеллектуальные сенсорные системы: пер. с англ.
Published: (Москва, Техносфера, 2011)