Ч. 1

Ч. 1

Bibliographic Details
Parent link:	Физика микросистем: учебное пособие. Ч. 1.— , 2004-2006
Main Author:	Гридчин В. А. Виктор Алексеевич
Other Authors:	Драгунов В. П. Валерий Павлович
Summary:	Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия. В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их практического применения. Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей. Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и научным работникам.
Published:	2004
Subjects:	электроника кремниевые микросистемы создание микромеханические системы напряжения деформация плоские упругие элементы монокристаллический кремний тензорезистивный эффект сенсоры проектирование компоненты техническая реализация учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=82628

Similar Items

Техническая механика микросистем учебное пособие
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Введение в нанотехнику
by: Головин Ю. И. Юрий Иванович
Published: (Москва, Машиностроение, 2007)

Микродатчики и микросистемы. Краткий курс лекций учебное пособие
by: Гридчин А. В.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Ч. 2: Термические сенсоры, сенсоры оптического и инфракрасного излучения
Published: (2006)

Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа
by: Вторушин С. Е.
Published: (2014)

Integrated microelectromechanical gyroscope under shock loads
by: Nesterenko T. G. Tamara Georgievna
Published: (2018)

Связь параметров и структурного совершенства кремниевых pin-фотоприемников
by: Кулинич О. А.
Published: (2004)

Microelectronics and Microsystems. Emergent Design Techniques
Published: (London, Springer, 2002)

Введение в современную микро-и наносистемную технику учебное пособие
by: Гридчин А. В. Александр Викторович
Published: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)

Microsystems for Bioelectronics: The Nanomorphic Cell
by: Zhirnov V. V. Victor
Published: (Amsterdam, Elsevier, 2011)

Парадоксы, геолого-физическая сущность и механизмы метасоматоза
by: Поспелов Г. Л. Геннадий Львович
Published: (Новосибирск, Наука, 1973)

Advanced Microsystems for Automotive Applications 2001
Published: (Berlin, Springer, 2001)

Кн. 2
Published: (2015)

Анализ мировых систем и ситуация в современном мире пер. с англ.
by: Валлерстайн И. Иммануэль
Published: (СПб., Университетская книга, 2001)

Инженерная сейсморазведка
by: Романов В. В. Виктор Валерьевич
Published: (Москва, ЕАГЕ Геомодель, 2015)

Воздействие радиации на интегральные микросхемы
by: Коршунов Ф. П. Федор Павлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1986)

Smart sensors and MEMS Intelligent devices and microsystems for industrial applications
Published: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Кн. 2
Published: (1986)

Методические рекомендации по обеспечению параметров воздушной среды при производстве изделий микроэлектроники
Published: (Ленинград, Изд-во ВНИИОТ, 1987)

Кн. 2
Published: (2021)

Исследование квазиравновесной индуцированной фотопроводимости в слабо компенсированном примесном кремнии
by: Зыков В. М. Владимир Михайлович
Published: (2008)

Динамические характеристики ёмкостной микроэлектромеханической системы
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (2009)

ВЧ МЭМС и их применение пер. с англ.
by: Варадан В.
Published: (Москва, Техносфера, 2004)

Основы микросхемотехники [учебное пособие]
by: Алексенко А. Г. Андрей Геннадьевич
Published: (Москва, ЮНИМЕДИАСТАЙЛ, 2002)

Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов монография
by: Лугин А. Н. Александр Николаевич
Published: (Пенза, Изд-во ПГУ, 2008)

Территориальные социально-экономические системы Урала межведомственный сборник научных трудов
Published: (Пермь, Изд-во ПГУ, 1982)

Политико-правовые институты как драйверы эволюционного развития современного социума
by: Равочкин Н. Н. Никита Николаевич
Published: (2020)

Анализ проблем обеспечения устойчивости в микрогрид
by: Шлапак М. Р.
Published: (2023)

Об одной модели малогабаритного линейного акселерометра
by: Увакин В. Ф.
Published: (2003)

Effect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope
Published: (2015)

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок
Published: (2017)

Радиационно-технологический комплекс реактора ИРТ-Т для модификации свойств монокристаллического кремния и полудрагоценных кристаллов
Published: (2015)

Использование монокристаллического кремния для детектирования нейтронного излучения ядерного реактора
by: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Published: (2015)

The ability to create NTD silicon technology in the IRT-T reactor in a horizontal experimental channel with one-side access
Published: (2016)

Использование монокристаллического кремния для контроля ядерно-физических характеристик нейтронных полей
Published: (2015)

Моделирование динамики сенсора микромеханического гироскопа LL-типа
by: Бурганова С. Я.
Published: (2013)

Интеллектуальные сенсорные системы пер. с англ.
Published: (Москва, Техносфера, 2011)

Оптимизация конфигурации активной зоны реактора ИРТ-Т для облучения слитков монокристаллического кремния большого диаметра
by: Дмитриев С. К.
Published: (2018)

Влияние температуры и времени на условия смачивания стекольными расплавами монокристаллического кремния
by: Комаров Д. В.
Published: (2023)

Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа
by: Вторушин С. Е. Сергей Евгеньевич
Published: (2014)