|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
82628 |
| 005 |
20231101213237.0 |
| 010 |
|
|
|a 5778204469
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\88797
|
| 090 |
|
|
|a 82628
|
| 100 |
|
|
|a 20051005d2004 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Ч. 1
|f В. А. Гридчин, В. П. Драгунов
|
| 210 |
|
|
|d 2004
|
| 215 |
|
|
|a 416 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав.
|
| 330 |
|
|
|a Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия. В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их практического применения. Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей. Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и научным работникам.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\106795
|t Физика микросистем
|o учебное пособие
|o в 2 ч.
|v Ч. 1
|d 2004-2006
|s Учебники НГТУ
|
| 606 |
1 |
|
|a Микросистемы
|x Физика
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\64467
|9 81361
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые микросистемы
|
| 610 |
1 |
|
|a создание
|
| 610 |
1 |
|
|a микромеханические системы
|
| 610 |
1 |
|
|a напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a деформация
|
| 610 |
1 |
|
|a плоские упругие элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a тензорезистивный эффект
|
| 610 |
1 |
|
|a сенсоры
|
| 610 |
1 |
|
|a проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a компоненты
|
| 610 |
1 |
|
|a техническая реализация
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Гридчин
|b В. А.
|g Виктор Алексеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Драгунов
|b В. П.
|g Валерий Павлович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20051005
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130603
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Микроэлектроника и схемотехника ЭВМ
|
| 900 |
|
|
|a физические основы лазерной обработки материалов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210104
|b 210108
|b 210000
|
| 959 |
|
|
|a 78/20051004
|d 1
|e 0
|f ЧЗТЛ:1
|
