Ч. 1
| Parent link: | Физика микросистем: учебное пособие. Ч. 1.— , 2004-2006 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия. В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их практического применения. Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей. Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и научным работникам. |
| Published: |
2004
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=82628 |
| Physical Description: | 416 с. ил. |
|---|---|
| Summary: | Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия. В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их практического применения. Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей. Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и научным работникам. |
| ISBN: | 5778204469 |