Физическая химия кристаллов с дефектами: учебное пособие для вузов - Синельников Б. М. Борис Михайлович (Москва, Высшая школа, 2005)
Рассмотрена термодинамика точечных дефектов, используются современные представления о процессах образования и взаимодействия точечных дефектов, при этом учитывается участие электронной подсистемы кристаллов в процессе дефектообразования. Изложены основные закономерности, управляющие синтезом твердого тела с заданными свойствами. Для студентов технических вузов, изучающих микроэлектронику и твердотельную электронику, физическую химию материалов и процессов электронной техники, микросистемную технику, материалы микросистемной техники, а также для аспирантов и научных работников, занимающихся исследованиями в этих областях.