MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 81725
005 20231101213203.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\87835 
090 |a 81725 
100 |a 20050922d1972 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 000zy 
200 1 |a Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок  |f Сибирское отделение АН СССР; Институт физики полупроводников; под ред. Л. Н. Александрова 
210 |a Новосибирск  |c Наука  |d 1972 
215 |a 227 с.  |c ил. 
320 |a Библиография в конце глав. 
606 1 |a Полупроводниковые пленки  |x Получение  |x (физика)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50666  |9 69317 
610 1 |a физика 
610 1 |a получение 
610 1 |a кристаллизация 
675 |a 539.23  |v 3 
702 1 |a Александров  |b Л. Н.  |g Леонид Наумович  |4 340 
712 0 2 |a Академия наук СССР  |b Сибирское отделение  |b Институт физики полупроводников (АН СССР СО ИФП)  |c (Новосибирск)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20050922  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20181219  |g PSBO 
942 |c BK