Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Daljnji autori:	Фолманис Г. Э. Гундар Эдуардович
Jezik:	ruski
Izdano:	Москва, Наука, 1973
Teme:	пленки получение низкотемпературная плазма ионные пучки
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=81723

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	81723
005	20231031095256.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\87833
090			\|a 81723
100			\|a 20050922d1973 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков \|f К. А. Осипов, Г. Э. Фолманис
210			\|a Москва \|c Наука \|d 1973
215			\|a 87 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 82-85
610	1		\|a пленки
610	1		\|a получение
610	1		\|a низкотемпературная плазма
610	1		\|a ионные пучки
675			\|a 539.216 \|v 3
700		1	\|a Осипов \|b К. А. \|g Кирилл Афанасьевич
701		1	\|a Фолманис \|b Г. Э. \|g Гундар Эдуардович
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20050922 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20051031 \|g PSBO
942			\|c BK