Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Наука, 1973
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=81723 |
| Physical Description: | 87 с. ил. |
|---|