Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Белевский В. П. Владимир Петрович
Další autoři:	Кузьмичев А. И. Анатолий Иванович, Мельник В. И. Виталий Игнатьевич
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Киев, о-во "Знание" УССР, 1982
Edice:	В помощь лектору и специалисту О-во "Знание" УССР
Témata:	пленки тонкие электронно-ионная технология получение
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=81224

Podobné jednotky

Электронные и ионные явления и их применение: сборник научных трудов
Vydáno: (Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1982)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
Autor: Васичев Б. Н. Борис Никитович
Vydáno: (Москва, Металлургия, 1977)

Т. 6; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
Vydáno: (1973)

Т. 7; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
Vydáno: (1977)

Квантовая технология: межвузовский сборник
Vydáno: (Ленинград, Изд-во ЛЭТИ, 1980)

Технология нанесения покрытий методические указания к лабораторным работам для студентов направления 11.04.04 «электроника и наноэлектроника» (профиль «материалы функциональной электроники») очной формы обучения
Autor: Калинин Ю. Е.
Vydáno: (Воронеж, ВГТУ, 2024)

Процессы и установки электронно-имунной технологии: учебное пособие
Autor: Попов В. Ф. Владимир Федорович
Vydáno: (Москва, Высшая школа, 1988)

Современные технологии поверхностного упрочнения и нанесения покрытий: учебное пособие
Autor: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Vydáno: (Томск, Изд-во ТПУ, 2012)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11; 02.00.04
Autor: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2006)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11, 02.00.04
Autor: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2006)

Коронный разряд в аппаратах электронно-ионной технологии
Autor: Верещагин И. П. Игорь Петрович
Vydáno: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Получение, физико-химические свойства и применение силикатных тонкопленочных систем SiO2-Ta2O5: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
Autor: Мальчик А. Г. Александра Геннадьевна
Vydáno: (Томск, 1997)

Исследование характеристик тонкоплёночных покрытий с высокой адгезией; Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Шакалова Т. В.
Vydáno: (2004)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Autor: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2006)

Получение тонкопленочных элементов микросхем
Autor: Данилин Б. С. Борис Степанович
Vydáno: (Москва, Энергия, 1977)

Импульсный нагрев тонкопленочных устройств
Autor: Хрипченко И. А. Иван Андреевич
Vydáno: (Воронеж, Изд-во ВГУ, 1986)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Autor: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Vydáno: (Томск, 1998)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
Vydáno: (Киев, Наукова думка, 1982)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Autor: Данилин Б. С. Борис Степанович
Vydáno: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Autor: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 1998)

Электронно- и ионнолучевая технология.Труды 1-й международной конференции по теории и технологии обработки электронными и ионными пучками
Vydáno: (Москва, Металлургия, 1968)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Autor: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Vydáno: (Томск, 2023)

Применение электронно-ионной технологии в народном хозяйстве: тезисы докладов IV Всесоюзной конференции, 21-24 октября 1991 г., Москва
Vydáno: (Москва, Изд-во МЭИ, 1991)

Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Autor: Шабунин А. С. Артём Сергеевич
Vydáno: (2009)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
Autor: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Vydáno: (Томск, 2011)

Технология и свойства тонкопленочных материалов ZrO2-SiO2: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11; Спец. 02.00.04
Autor: Грязнов Р. В. Роман Васильевич
Vydáno: (Томск, 2002)

Физика и технология полупроводниковых пленок
Autor: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Vydáno: (Львов, Вища школа, 1988)

Технология и свойства тонкопленочных материалов ZrO2-SiO2: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11; Спец. 02.00.04
Autor: Грязнов Р. В. Роман Васильевич
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2003)

Тонкие пленки и их применение: материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
Vydáno: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)

Исследование структуры СВС-пресованных катодов для нанесения износостойких покрытий; Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Дурницын К. С.
Vydáno: (2010)

Магнетронные распылительные системы
Autor: Данилин Б. С. Борис Степанович
Vydáno: (Москва, Радио и связь, 1982)

Количественный электронно-зондовый микроанализ: пер. с англ.
Vydáno: (Москва, Мир, 1986)

Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники: учебное пособие
Autor: Панин А. В. Алексей Викторович
Vydáno: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с англ.
Autor: Праттон М.
Vydáno: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение: пер. с нем.
Autor: Метфессель С.
Vydáno: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе системы двойных оксидов ZrO2-GeO2: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
Autor: Борило Л. Н. Лариса Николаевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2007)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
Autor: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Vydáno: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
Autor: Ли Цзень Фень
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2006)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
Autor: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
Autor: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2005)