MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 81224
005 20231031095056.0
020 |a RU  |b 82-79711 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\87323 
090 |a 81224 
100 |a 20050919d1982 m a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a un 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий  |f В. П. Белевский, А. И. Кузьмичев, В. И. Мельник 
210 |a Киев  |c о-во "Знание" УССР  |d 1982 
215 |a 20 с.  |c ил.  |d 20 см 
225 1 |a В помощь лектору и специалисту  |f О-во "Знание" УССР 
610 1 |a пленки тонкие 
610 1 |a электронно-ионная технология 
610 1 |a получение 
675 |a 621.793  |z rus 
700 1 |a Белевский  |b В. П.  |g Владимир Петрович  |4 070 
701 1 |a Кузьмичев  |b А. И.  |g Анатолий Иванович 
701 1 |a Мельник  |b В. И.  |g Виталий Игнатьевич 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20050919  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20051119  |g PSBO 
942 |c BK