Физика и технология полупроводниковых пленок

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Andre forfattere:	Галущак М. А. Марьян Алексеевич, Межиловская Л. И. Любовь Иосифовна
Sprog:	russisk
Udgivet:	Львов, Вища школа, 1988
Fag:	пленки тонкие физика получение кристаллическая структура деградация
Format:	MixedMaterials Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=80127

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	80127
005	20231031094506.0
010			\|a 5110005419
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\86126
090			\|a 80127
100			\|a 20050901d1988 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a UA
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Физика и технология полупроводниковых пленок \|f Д. М. Фреик, М. А. Галущак, Л. И. Межиловская
210			\|a Львов \|c Вища школа \|d 1988
215			\|a 152 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 143-150
610	1		\|a пленки тонкие
610	1		\|a физика
610	1		\|a получение
610	1		\|a кристаллическая структура
610	1		\|a деградация
675			\|a 539.216.2 \|v 3
675			\|a 621.315.592-416 \|v 3
700		1	\|a Фреик \|b Д. М. \|g Дмитрий Михайлович
701		1	\|a Галущак \|b М. А. \|g Марьян Алексеевич
701		1	\|a Межиловская \|b Л. И. \|g Любовь Иосифовна
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20050901 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20050907 \|g PSBO
942			\|c BK