|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
79765 |
| 005 |
20231031094349.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\85745
|
| 090 |
|
|
|a 79765
|
| 100 |
|
|
|a 20050825d1970 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение из газовой фазы
|e сокр. пер. с англ.
|f под ред. К. Пауэлла [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Атомиздат
|d 1970
|
| 215 |
|
|
|a 472 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамика
|
| 610 |
1 |
|
|a испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a перенос
|
| 610 |
1 |
|
|a конденсация
|
| 610 |
1 |
|
|a осадки
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a физическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a химическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a ядерное горючее
|
| 610 |
1 |
|
|a защитные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные пленки
|
| 675 |
|
|
|a 66.06
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Пауэлл
|b К.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Оксли
|b Д.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Блочер
|b Д.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050825
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160505
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
