|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
78191 |
| 005 |
20231031093738.0 |
| 010 |
|
|
|a 5922102222
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\83804
|
| 090 |
|
|
|a 78191
|
| 100 |
|
|
|a 20050614d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Лазерная термометрия твердых тел
|f А. Н. Магунов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Физматлит
|d 2002
|
| 215 |
|
|
|a 224 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 207-220
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 221-222
|
| 330 |
|
|
|a Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем.
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a термометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерная термометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a интерферограммы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолюминесцентная термометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a свет
|
| 610 |
1 |
|
|a рассеяние
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:536.5
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Магунов
|b А. Н.
|g Александр Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050614
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060925
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|