Лазерная термометрия твердых тел

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Магунов А. Н. Александр Николаевич
Sumari:Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем.
Idioma:rus
Publicat: Москва, Физматлит, 2002
Matèries:
Format: Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=78191

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 78191
005 20231031093738.0
010 |a 5922102222 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\83804 
090 |a 78191 
100 |a 20050614d2002 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Лазерная термометрия твердых тел  |f А. Н. Магунов 
210 |a Москва  |c Физматлит  |d 2002 
215 |a 224 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 207-220 
320 |a Предметный указатель: с. 221-222 
330 |a Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. 
610 1 |a твердые тела 
610 1 |a физика 
610 1 |a термометрия 
610 1 |a лазерная термометрия 
610 1 |a поверхности 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a диэлектрики 
610 1 |a интерферограммы 
610 1 |a фотолюминесцентная термометрия 
610 1 |a свет 
610 1 |a рассеяние 
675 |a 539.2:536.5  |v 3 
700 1 |a Магунов  |b А. Н.  |g Александр Николаевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20050614  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20060925  |g PSBO 
942 |c BK