Микроизображения, оптические методы получения и контроля

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Котлецов Б. Н. Борис Николаевич
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Ленинград, Машиностроение, 1985
Soggetti:	микроэлектроника изображения оптические методы фотошаблоны контроль
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77928

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	77928
005	20231031093545.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\83531
090			\|a 77928
100			\|a 20050603d1985 m y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Микроизображения \|e оптические методы получения и контроля \|f Б. Н. Котлецов
210			\|a Ленинград \|c Машиностроение \|d 1985
215			\|a 240 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 234-239
610	1		\|a микроэлектроника
610	1		\|a изображения
610	1		\|a оптические методы
610	1		\|a фотошаблоны
610	1		\|a контроль
675			\|a 681.7.05 \|v 3
700		1	\|a Котлецов \|b Б. Н. \|g Борис Николаевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20050603 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20050915 \|g PSBO
942			\|c BK