Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии - Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич; Новиков А. П. Александр Петрович; Соловьев В. С. Валерий Сергеевич; Ширяев С. Ю. Сергей Юрьевич (Минск, Университетское, 1990)