Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 2

Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 2

Библиографические подробности
Источник:	Современные техника и технологии - СТТ' 2002: труды VIII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 8-12 апреля 2002 г./ Томский политехнический университет.— , 2002- Т. 2.— 2002.— С. 187-188
Главный автор:	Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Другие авторы:	Зоркальцев А. А., Пащенко О. В. Олег Валентинович
Язык:	русский
Опубликовано:	2002
Предметы:	системы управления плазменное нанесение вакуумные камеры тонкоплёночные покрытия металлические материалы распыление методы труды учёных ТПУ
Формат:	Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77612

Схожие документы

Физико-химические основы нанесения покрытий: учебное пособие для вузов
по: Палеха Константин Кузьмич
Опубликовано: (Киев, Изд-во КПИ, 1992)

Ионно-плазменное напыление установка ионно-плазменного напыления; Актуальные проблемы современного машиностроения
по: Дрелих И. В.
Опубликовано: (2014)

Антифрикционные тонкоплёночные покрытия на основе дисульфида молибдена; Справочник. Инженерный журнал; № 3
по: Панфилов Ю. В.
Опубликовано: (2003)

Магнетронный диод на парах металлов; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
по: Жуков В. В.
Опубликовано: (2002)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
по: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Опубликовано: (2008)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2016)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Майер Д. Н.
Опубликовано: (2012)

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3
по: Перекрестов В. И.
Опубликовано: (2002)

Влияние паров на проводимость и эмиссионные свойства формованной структуры [Mo-2SixNyOz-Al]; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 1
по: Лубсанов Р. Б.
Опубликовано: (2004)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2016)

Т. 1; Теория и практика газотермического нанесения покрытий
Опубликовано: (1980)

Новые методы нанесения металлических покрытий: пер. с чеш.
по: Тейндл Й. Йозеф
Опубликовано: (Москва, Металлургиздат, 1963)

Моделирование температурных полей при использовании аналогии процессов формирования натрубных отложений и плазменного нанесения покрытий: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.14
по: Чугуев Д. Н. Данил Николаевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2008)

Технология производства тонкопленочных гибридных интегральных микросхем: учебное пособие
по: Мевис А. Ф.
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
по: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Опубликовано: (2003)

Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2022)

Роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении в формировании функциональных свойств хромовых покрытий; Современные проблемы машиностроения
по: Алкенова К. А.
Опубликовано: (2022)

Нанесение покрытий: Текст лекций
по: Биронт В. С. Виталий Семенович
Опубликовано: (Красноярск, Изд-во ГАЦМиЗ, 1994)

Моделирование температурных полей при использовании аналогии процессов формирования натрубных отложений и плазменного нанесения покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.14
по: Чугуев Д. Н. Данил Николаевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2008)

Современные методы нанесения защитных и износостойких покрытий с наноструктурой; Современные техника и технологии; Т. 3
по: Морева Н. А.
Опубликовано: (2010)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
по: Зелецов Д.
Опубликовано: (2019)

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
по: Зеленин В. А.
Опубликовано: (Минск, Белорусская наука, 2022)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (Томск, 2018)

Моделирование температурных полей при использовании аналогии процессов формирования натрубных отложений и плазменного нанесения покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.14
по: Чугуев Д. Н. Данил Николаевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2008)

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Чжан Ле
Опубликовано: (Томск, 2020)

Новый метод нанесения металлических, интерметаллоидных или керамических покрытий на металлическую поверхность; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
по: Чернова С. А. Светлана Андреевна
Опубликовано: (2010)

Методы и средства упрочения поверхностей деталей машин концентрированными потоками энергии
Опубликовано: (Москва, Наука, 1992)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (Томск, 2018)

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Чжан Ле
Опубликовано: (Томск, 2020)

Изучение особенностей формирования покрытий из TIB2 на металлической основе при газотермическом напылении; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
по: Шнайдт Е. И.
Опубликовано: (2009)

Основы метода газотермического нанесения покрытий
по: Березин Е. К.
Опубликовано: (Нижний Новгород, ВГУВТ, 2013)

Оптимизация режима работы сильноточного диода с полым катодом, для нанесения металлических покрытий; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
по: Черепенников Ю. М. Юрий Михайлович
Опубликовано: (2010)

Electron multibeam additive process for high production manufacturing large metallic components; Междисциплинарные проблемы аддитивных технологий
по: Eliseev A. A.
Опубликовано: (2017)

Magnetron sputtering system; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
по: Lazarev A. V.
Опубликовано: (2015)

Нанесение плазмой тугоплавких покрытий
по: Кудинов В. В. Владимир Владимирович
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 1981)

Импульсные методы нанесения порошковых покрытий
по: Дорожкин Н. Н. Нил Николаевич
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1985)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Шпакова Н. Ю.
Опубликовано: (2009)

Прогрессивные технологии нанесения покрытий: монография
Опубликовано: (Москва, Спектр, 2012)

Вакуумные установки: учебное пособие по курсовому и дипломному проектированию
по: Андрейчук О. Б. Олег Борисович
Опубликовано: (Москва, Изд-во МАИ, 1989)

Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2011)