|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
77612 |
| 005 |
20251202132355.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\83213
|
| 090 |
|
|
|a 77612
|
| 100 |
|
|
|a 20050525d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"
|f С. В. Юдаков, А. А. Зоркальцев, О. В. Пащенко
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\45612
|t Современные техника и технологии - СТТ' 2002
|o труды VIII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 8-12 апреля 2002 г.
|f Томский политехнический университет
|d 2002-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\44698
|t Т. 2
|f отв. ред. А. С. Заворин
|v С. 187-188
|d 2002
|
| 610 |
1 |
|
|a системы управления
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные камеры
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкоплёночные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Юдаков
|b С. В.
|c специалист в области автоматического управления
|c научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1979-
|g Сергей Владимирович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29788
|
| 701 |
|
1 |
|a Зоркальцев
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Пащенко
|b О. В.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1962-
|g Олег Валентинович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29784
|9 14261
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050525
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140531
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
