|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
77148 |
| 005 |
20251202093732.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\82728
|
| 090 |
|
|
|a 77148
|
| 100 |
|
|
|a 20050514d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
|f И. Р. Арсланов, Д. А. Володин, В. Г. Подковыров
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 4 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\45612
|t Современные техника и технологии - СТТ' 2002
|o труды VIII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 8-12 апреля 2002 г.
|f Томский политехнический университет
|d 2002-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\44697
|t Т. 1
|f отв. ред. А. С. Заворин
|v С. 104-106
|d 2002
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a дугогашение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-плазменная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a реактивное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a дугообразование
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Арсланов
|b И. Р.
|
| 701 |
|
1 |
|a Володин
|b Д. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Подковыров
|b В. Г.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050514
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140531
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
