Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
| Parent link: | Современные техника и технологии - СТТ' 2002: труды VIII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 8-12 апреля 2002 г./ Томский политехнический университет.— , 2002- Т. 1.— 2002.— С. 104-106 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2002
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77148 |
| Description not available. |