|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
76584 |
| 005 |
20231031091747.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\82086
|
| 090 |
|
|
|a 76584
|
| 100 |
|
|
|a 20050426j20050419k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e Спец. 05.17.11
|f И. А. Чистоедова
|g Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук. С. В. Смирнов
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2005
|
| 215 |
|
|
|a 178 л.
|c ил.
|
| 229 |
|
|
|a Защищена 19.04.2005 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 166-178 (133 назв.)
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a тантал
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a методология
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a соединения тантала
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 675 |
|
|
|a 661.88(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.17.11
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Чистоедова
|b И. А.
|g Инна Анатольевна
|
| 702 |
|
1 |
|a Смирнов
|b С. В.
|g Серафим Всеволодович
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\422
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050426
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050427
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
