Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Collectivité auteur:	Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Autres auteurs:	Смирнов С. В. Серафим Всеволодович (научный руководитель)
Langue:	russe
Publié:	Томск, [Б. и.], 2005
Sujets:	химическая технология тантал тонкие пленки получение структура свойства оборудование исследования методология ионно-плазменное распыление соединения тантала модификация диссертации
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76584

Description
Description matérielle:	178 л. ил.

Documents similaires