Микромеханические приборы, учебное пособие
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Zusammenfassung: | Допущено Министерством образования и науки Российской Федерации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности “Приборостроение” направления подготовки «Приборостроение» Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил и моментов) преобразователей в микромеханическом исполнении, схемы электронной обработки сигналов. Приведены примеры электронного устранения ошибок микрогироскопов, в частности квадратурной; описана электронная частотная настройка режимов работы микрогироскопов. Рассмотрены конструктивные схемы и расчет упругих подвесов и мембран, динамика чувствительных элементов, включающая уравнения движения, передаточные функции, частотные характеристики и функциональные зависимости перемещений чувствительных элементов от измеряемой величины. Даны расчет газового и конструкционного демпфирования, теория и расчет измерительных цепей приборов прямого и компенсационного преобразований, а также основные погрешности измерений, примеры вычислений. Для студентов вузов, обучающихся по специальности «Приборостроение» направления подготовки «Приборостроение», а также может быть полезно аспирантам и инженерно-техническим работникам. Книга из коллекции Машиностроение - Инженерно-технические науки |
| Veröffentlicht: |
Москва, Машиностроение, 2007
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=753 https://e.lanbook.com/img/cover/book/753.jpg |
| Format: | Elektronisch Buch |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 753 | ||
| 010 | |a 5-217-03360-6 | ||
| 100 | |a 20200604d2007 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Микромеханические приборы |b Электронный ресурс |f Распопов В. Я. |e учебное пособие | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c Машиностроение |d 2007 | ||
| 215 | |a 400 с. | ||
| 300 | |a Допущено Министерством образования и науки Российской Федерации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности “Приборостроение” направления подготовки «Приборостроение» | ||
| 330 | |a Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил и моментов) преобразователей в микромеханическом исполнении, схемы электронной обработки сигналов. Приведены примеры электронного устранения ошибок микрогироскопов, в частности квадратурной; описана электронная частотная настройка режимов работы микрогироскопов. Рассмотрены конструктивные схемы и расчет упругих подвесов и мембран, динамика чувствительных элементов, включающая уравнения движения, передаточные функции, частотные характеристики и функциональные зависимости перемещений чувствительных элементов от измеряемой величины. Даны расчет газового и конструкционного демпфирования, теория и расчет измерительных цепей приборов прямого и компенсационного преобразований, а также основные погрешности измерений, примеры вычислений. Для студентов вузов, обучающихся по специальности «Приборостроение» направления подготовки «Приборостроение», а также может быть полезно аспирантам и инженерно-техническим работникам. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции Машиностроение - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a акселерометры | |
| 610 | 0 | |a литография | |
| 610 | 0 | |a гироскопы | |
| 610 | 0 | |a датчики давления | |
| 610 | 0 | |a фотолитография | |
| 610 | 0 | |a фотолитография | |
| 610 | 0 | |a гриф минобразования | |
| 610 | 0 | |a динамика | |
| 610 | 0 | |a диффузия | |
| 610 | 0 | |a допущено мо рф | |
| 610 | 0 | |a измерительные свойства | |
| 610 | 0 | |a измерительные свойства микромеханических приборов | |
| 610 | 0 | |a классификации | |
| 610 | 0 | |a конструкции | |
| 610 | 0 | |a кристаллы | |
| 610 | 0 | |a мембраны | |
| 610 | 0 | |a металлы | |
| 610 | 0 | |a микроакселерометр | |
| 610 | 0 | |a микрогироскопы | |
| 610 | 0 | |a микродатчики | |
| 610 | 0 | |a микродатчики давления | |
| 610 | 0 | |a микромеханические приборы | |
| 610 | 0 | |a микроскопы | |
| 610 | 0 | |a миниатюрные изделия | |
| 610 | 0 | |a принципы | |
| 610 | 0 | |a производство | |
| 610 | 0 | |a производство микромеханических приборов | |
| 610 | 0 | |a свойства | |
| 610 | 0 | |a терминология | |
| 610 | 0 | |a технологические основы | |
| 610 | 0 | |a технология приборостроения | |
| 610 | 0 | |a трафвление | |
| 610 | 0 | |a учебные пособия | |
| 610 | 0 | |a учебные пособия для вузов | |
| 610 | 0 | |a элементная база | |
| 610 | 0 | |a эпитаксия | |
| 675 | |a 531.383(075.3) | ||
| 686 | |a З 844.1я7 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Распопов |b В. Я. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=753 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/753.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/753.jpg | ||