Нейтронное легирование кремния фосфором; Проблемы физико-технического образования и атомной промышленности

Bibliographic Details
Parent link:Проблемы физико-технического образования и атомной промышленности.— 2000.— С. 112-115.
Main Author: Варлачёв В. А.
Other Authors: Солодовников Е. С.
Language:Russian
Published: 2000
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=75237

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 75237
005 20231031090446.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\80219 
090 |a 75237 
100 |a 20050321d2000 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Нейтронное легирование кремния фосфором  |f В. А. Варлачёв, Е. С. Солодовников 
320 |a Библиогр.: 8 назв. 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\24947  |t Проблемы физико-технического образования и атомной промышленности  |o Международная юбилейная научно-практическая конференция, Томск, 5-8 июня 2000. Сб. докладов  |f ТПУ. Физико-технический факультет  |v С. 112-115.  |d 2000  |p 236 с. 
610 1 |a фосфор 
610 1 |a кремний 
610 1 |a легирование 
610 1 |a нейтронное легирование 
610 1 |a силовая электроника 
610 1 |a нейтронно-трансмутационное легирование 
610 1 |a автоматизированные устройства 
610 1 |a облучательные устройства 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Варлачёв  |b В. А. 
701 1 |a Солодовников  |b Е. С. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20050321  |g PSBO 
942 |c BK