Фотолитография и оптика

Detalles Bibliográficos
Outros autores:	Белов Н. И. Николай Иванович (редактор), Вайбрехт О. Отто, Волцит В. В. Вильгельмина Виллиевна, Грюнвальд Г. Генрих, Федотов Я. А. Яков Андреевич, Поль Г. Ганс
Summary:	Книга написана совместно специалистами СССР и специалистами народного предприятия "Карл Цейсс Йена" ГДР
Idioma:	ruso
Publicado:	Москва, Советское радио, 1974
Subjects:	фотолитография оптика полупроводниковые приборы производство микроэлектроника микросхемы печатные схемы
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74862

Títulos similares