|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
74862 |
| 005 |
20231031090004.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\79839
|
| 090 |
|
|
|a 74862
|
| 100 |
|
|
|a 20050314d1974 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Фотолитография и оптика
|f Н. И. Белов, О. Вайбрехт, В. В. Волцит, Г. Грюнвальд и др.
|g под ред. Я. А. Федотова, Г. Поля
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|a Берлин
|c Советское радио
|c Техника
|d 1974
|
| 215 |
|
|
|a 392 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Книга написана совместно специалистами СССР и специалистами народного предприятия "Карл Цейсс Йена" ГДР
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a оптика
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a печатные схемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.59
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Белов
|b Н. И.
|g Николай Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Вайбрехт
|b О.
|g Отто
|
| 701 |
|
1 |
|a Волцит
|b В. В.
|g Вильгельмина Виллиевна
|
| 701 |
|
1 |
|a Грюнвальд
|b Г.
|g Генрих
|
| 702 |
|
1 |
|a Федотов
|b Я. А.
|g Яков Андреевич
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Поль
|b Г.
|g Ганс
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050314
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230613
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
