Фотолитография и оптика

Фотолитография и оптика

Bibliographic Details
Other Authors: Белов Н. И. Николай Иванович (340), Вайбрехт О. Отто, Волцит В. В. Вильгельмина Виллиевна, Грюнвальд Г. Генрих, Федотов Я. А. Яков Андреевич, Поль Г. Ганс
Summary:Книга написана совместно специалистами СССР и специалистами народного предприятия "Карл Цейсс Йена" ГДР
Language:Russian
Published: Москва, Советское радио, 1974
Subjects:
фотолитография
оптика
полупроводниковые приборы
производство
микроэлектроника
микросхемы
печатные схемы
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74862
Description
Physical Description:392 с. ил.
Summary:Книга написана совместно специалистами СССР и специалистами народного предприятия "Карл Цейсс Йена" ГДР

Similar Items