Оптические основы контактной фотолитографии

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Березин Г. Н. Геннадий Николаевич
מחברים אחרים:	Никитин А. В. Аркадий Викторович, Сурис Р. А. Роберт Арнольдович
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Радио и связь, 1982
סדרה:	Массовая радиобиблиотека. Электроника
נושאים:	фотолитография теория Френеля-Кирхгофа дифракционные искажения контактная печать электронная техника
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74860

פריטים דומים