Оптические основы контактной фотолитографии
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | , |
| Langue: | russe |
| Publié: |
Москва, Радио и связь, 1982
|
| Collection: | Массовая радиобиблиотека. Электроника |
| Sujets: | |
| Format: | Livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74860 |