|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
74860 |
| 005 |
20231031090003.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\79837
|
| 090 |
|
|
|a 74860
|
| 100 |
|
|
|a 20050314d1982 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оптические основы контактной фотолитографии
|f Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 103 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая радиобиблиотека. Электроника
|h Вып. 33
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 98-101.
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a теория Френеля-Кирхгофа
|
| 610 |
1 |
|
|a дифракционные искажения
|
| 610 |
1 |
|
|a контактная печать
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная техника
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Березин
|b Г. Н.
|g Геннадий Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Никитин
|b А. В.
|g Аркадий Викторович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сурис
|b Р. А.
|g Роберт Арнольдович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050314
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160920
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
