Оптические основы контактной фотолитографии
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Москва, Радио и связь, 1982
|
| Edice: | Массовая радиобиблиотека. Электроника |
| Témata: | |
| Médium: | Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74860 |
| Fyzický popis: | 103 с. ил. |
|---|