Оптические основы контактной фотолитографии
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | , |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
Москва, Радио и связь, 1982
|
| Serier: | Массовая радиобиблиотека. Электроника |
| Fag: | |
| Format: | Bog |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74860 |
| Fysisk beskrivelse: | 103 с. ил. |
|---|