APA (7th ed.) Citation

Березин Г. Н. Геннадий Николаевич, Никитин А. В. Аркадий Викторович, & Сурис Р. А. Роберт Арнольдович. (1982). Оптические основы контактной фотолитографии. Москва, Радио и связь, 1982.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Березин Г. Н. Геннадий Николаевич, Никитин А. В. Аркадий Викторович, and Сурис Р. А. Роберт Арнольдович. Оптические основы контактной фотолитографии. Москва, Радио и связь, 1982, 1982.

MLA (9th ed.) Citation

Березин Г. Н. Геннадий Николаевич, et al. Оптические основы контактной фотолитографии. Москва, Радио и связь, 1982, 1982.