Берлин Е. В. & Сейдман Л. А. (2014). Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением: справочное пособие. Москва, Техносфера, 2014.
Chicago Style (17th ed.) CitationБерлин Е. В. and Сейдман Л. А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением: справочное пособие. Москва, Техносфера, 2014, 2014.
MLA (9th ed.) CitationБерлин Е. В. and Сейдман Л. А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением: справочное пособие. Москва, Техносфера, 2014, 2014.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.