Вакуумное нанесение тонких пленок

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Weitere Verfasser:	Нилендер Р. А. (редактор)
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Энергия, 1967
Schlagworte:	тонкие пленки получение применение вакуум напыление напыленные покрытия вакуумное оборудование вакуумные методы вакуумные приборы вакуумные покрытия
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=72166

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	72166
005	20231031083207.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\76930
090			\|a 72166
100			\|a 20050110d1967 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Вакуумное нанесение тонких пленок \|f Б. С. Данилин \|g под ред. Р. А. Нилендера
210			\|a Москва \|c Энергия \|d 1967
215			\|a 311 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 304-311.
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a получение
610	1		\|a применение
610	1		\|a вакуум
610	1		\|a напыление
610	1		\|a напыленные покрытия
610	1		\|a вакуумное оборудование
610	1		\|a вакуумные методы
610	1		\|a вакуумные приборы
610	1		\|a вакуумные покрытия
675			\|a 621.385 \|v 3
675			\|a 539.216 \|v 3
700		1	\|a Данилин \|b Б. С. \|g Борис Степанович
702		1	\|a Нилендер \|b Р. А. \|4 340
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20050110 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20211028 \|g PSBO
942			\|c BK